11月2日-5日，全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会第六届年会暨第十五届微光刻技术交流会在广西南宁举办。全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会全体委员、代表及国内外微光刻标准化技术领域的270余位嘉宾学者齐聚一堂，共话技术创新与标准建设。本次会议由神光光学集团和广西产研院先进技术融合创新促进中心联合承办。

（活动合影）

中国科学院物理研究所研究员、全国半导体设备和材料标准化委员会副主任委员、微光刻分技术委员会主任委员冯稷，五象新区（自贸试验区南宁片区）管委会副主任、良庆区委书记陆广平，微光刻分委会秘书长陈宝钦，中国科学院标准化工作办公室、中国科学院武汉文献情报中心主任魏凤，广西产业技术研究院副院长杜文宏出席开幕式并致辞。

（会议现场）

冯稷表示，本次会议以“传承精神、凝聚共识”为主线，通过搭建标准化协同平台、完善产业链生态，为中国微光刻产业长期发展注入不竭动力。此外，他认为南宁以“开放包容、共享发展、共创未来”的格局、理念，为本次会议搭建了高水平交流平台，为全国半导体设备与微光刻分技术领域专家学者创造了思想碰撞、技术对接的良好契机，希望与会企业持续关注南宁，并积极布局科研与产业合作。

（冯稷致辞）

陆广平表示，半导体产业的竞争是技术的比拼，更是生态较量。本次会议是微光刻领域交流前沿技术、共商发展方向的行业盛会，更是南宁半导体产业对接全国创新资源、深化区域协同的重要平台。自贸试验区南宁片区已构建起覆盖“芯片设计—制造—封测—应用”的完整产业链生态，作为面向东盟开放合作的前沿和窗口，将积极对接国内外半导体产业资源，强化产业链上下游企业战略合作，完善合作机制，拓展合作领域，提升合作水平，全力支持企业在邕技术研发和业务拓展，做好创新创业“保障者”和“合伙人”。

（陆广平致辞）

陈宝钦表示，微光刻技术作为芯片制造的“眼睛”，从微米级传统光学光刻到如今电子束直写5纳米的技术跨越，每一步突破都标注着国家半导体产业的发展高度。在致辞中他专门提及曾任职于中国科学院微电子研究所的“中国龙芯之母”黄令仪教授家乡正是广西南宁。黄教授生前最大的心愿就是“匍匐在地，擦干祖国身上的耻辱”，正是这份坚守，让龙芯三号成功嵌入歼-20、北斗卫星和高铁，让中国摆脱了“无芯可用”的困境。老一辈科学家的报国热忱，让与会嘉宾为之动容。

（陈宝钦致辞）

杜文宏表示，作为广西科技创新的“主力军”，广西产研院及其下属专业研究所融促中心将以此次行业盛会为契机，强化政企联动，集聚行业优势力量，深化关键核心技术联合攻关，推进科技成果转化，促进“AI+光学智能装备制造”“关键金属+光电”等产业在桂发展，为广西半导体产业高质量发展注入新动能。

（杜文宏致辞）

作为半导体制造的核心技术领域，微光刻技术的标准化与创新突破直接关系产业发展进程。与会嘉宾围绕光掩模基板制造工艺、光刻机用高纯合成石英材料、电子束光刻、高性能电子束曝光设备、纳米压印光刻、新型光刻技术应用等前沿议题开展专题汇报及学术交流，重点聚焦标准制定推动加速技术产业化落地。

（学术交流）

在本次活动召开之际，会议主办方还在广西科技馆精心策划开展了系列科普教育活动。通过“微电子微光刻的科学原理与应用”主题讲解，设置“玩转魔方中领悟科学思维与标准化”互动环节，让广大市民群众深入了解微光刻技术的奇特奥秘。在实地参观调研环节，与会嘉宾学者、企业客商代表走进南宁神光科技有限公司及广西产研神光先进光学研究中心有限公司，零距离体验高端光学材料生产流程与技术应用。

（实地参观调研）

本次会议聚焦标准化、产业化与前沿技术，推动微光刻技术标准的完善与创新，将助力广西进一步吸纳优质技术与高端人才资源，强化面向东盟开放合作的半导体产业发展优势，为“南宁智造”汇聚动力、增添活力。

（开幕式现场）