利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术。具有一体化结构，体积小，完全可以与被测物体贴合成一体，完整感知该物体的变化状态（加速度、角速度、角度、温度、湿度等）的特点。

利用其特点，将其应用到公路基础设施的运行状态监测，实现对桥梁、隧道、边坡等重要基础设施7*24小时不间断的工程结构、运行环境数据的采集。